MARTS AP Batch-serie

CKD Technology har ikke kun helt nye maskiner på lager, tilgængelige med det samme.

Vi har også en detaljeret udlejningsvirksomhed, klar til at betjene dine specifikke produktionsbehov, samtidig med at du reducerer din oprindelige investering markant. Kontakt os for flere detaljer.

CKD har et team af professionelle ingeniører, klar til at levere nøglefærdig service.

For handel med brugte maskiner, kontakt os venligst via Whatspp eller e-mail.

------------------------------------------------------------------------------------

Oversigt

AP-seriens plasmabehandlingssystemer er velegnede til en bred vifte af applikationer, herunder plasmarensning, overfladeaktivering og forbedring af vedhæftning. Disse systemer betjener sektorer som halvlederfremstilling, mikroelektronikpakning og -montage og produktion af medicinsk og biovidenskabsudstyr. AP-serien omfatter fire batch plasmabehandlingssystemer, der tilbyder små, mellemstore og store vakuumkammermuligheder for at imødekomme kundernes behov lige fra R&D-miljøer til forskellige produktionsniveauer.

Funktioner og fordele ved plasmabehandlingssystemer

● PLC-controller med touchscreen-interface giver et intuitivt grafisk display og procesovervågning i realtid

● Fleksibelt hyldedesign giver mulighed for bearbejdning af forskellige delbærere i enten direkte eller nedstrøms plasmatilstande

● 13,56 MHz RF-generator med automatisk impedanstilpasning sikrer uovertruffen procesreproducerbarhed

● Proprietært softwarekontrolsystem genererer proces- og produktionsdata til statistisk proceskontrol (SPC)

● Batch-lignende drift; hver enhed er fuldstændig selvstændig og kræver minimal gulvplads

● Pumpe, kammer, kontrolelektronik og 13,56 MHz RF-generator er alle anbragt i et enkelt kabinet

Plasmabehandlingssystemmodeller og -konfigurationer

AP-600 & AP-300 Plasmabehandlingssystemer til bordplader:AP-300 og AP-600 plasmabehandlingssystemerne er bordenheder, der er fuldt selvstændige og kræver minimal plads på arbejdsbordet. Systemchassiset rummer plasmakammeret, styreelektronik, en 13,56 MHz RF-generator og et automatisk kammertilpasningsnetværk (kun vakuumpumpen er placeret eksternt). Vedligeholdelsesadgang gives via låste døre eller aftagelige paneler. Plasmakammeret understøtter op til syv aftagelige og justerbare drevne eller jordforbundne hylder til at rumme forskellige dele, samlinger og bærere, inklusive magasiner, bakker og waferbåde. Vakuumplasmabehandlingssystemet rummer en lang række procesgasser, herunder argon, oxygen, brint, helium og fluorholdige gasser. Begge modeller leveres som standard med to (2) massestrømsregulatorer for optimal gaskontrol, med to (2) ekstra enheder tilgængelige som ekstraudstyr (op til fire i alt). Praktiske forsyningsforbindelser letter den periodiske kalibrering, der kræves under valideringsprocesser.

AP-1000 plasmabehandlingssystem:AP-1000-platformen giver mulighed for fuld frontadgang, hvilket letter nem betjening og vedligeholdelse af alle interne komponenter. Pumpen er monteret på hjul for nem afmontering. Plasmakammeret er konstrueret af 11-gauge rustfrit stål med aluminiumsarmaturer, hvilket sikrer enestående holdbarhed. Kammeret har flere aftagelige og justerbare hylder for at rumme en række delebærere, herunder magasiner, bakker, wafers og waferbåde. Udstyret med valgfri HTP (High Throughput) hylder, kombinerer AP-1000 plasmabehandlingssystemet AP-1000 platformens pålidelighed og proceskvalitet med de dokumenterede fordele ved Nordson MARCHs unikke hyldedesign. AP-1000 HTP optimerer brugen af ​​reaktive ioner i RF-plasmaet, hvilket forbedrer behandlingens ensartethed og reducerer cyklustider. AP-1000 HTP-systemet understøtter en række procesgasser, såsom argon, brint og helium. Den leveres som standard med fire gasmassestrømsregulatorer for at sikre optimal gaskontrol. Slidsede magasiner er placeret lodret inde i kammeret.

Derudover kan slidsede magasiner placeres lodret inde i kammeret. Typisk rummer hvert magasin mindst 20 blyrammer. AP-1000 plasmakammeret kan rumme op til 12 magasiner, afhængigt af magasinstørrelsen.