Håndterer nemt overfladebehandling af følsomme komponenter
- Kontakt-egnet argon plasma
- Genererer ingen gnister, buer, støv, UV-stråling eller overdreven varme
- Ingen risiko for elektrostatisk afladning (ESD) for følsomme elektroniske komponenter (f.eks. wafers, blyrammer, halvlederemballagedele)
| Grundlæggende parametre | MYS Plasma Surface Treatment System Platform |
| Strømkrav | 220 V, 2 kW, 10 A, 60 Hz |
| Gaskrav | 90 psi (6 bar) |
| Dimensioner (B x D x H) | 1.200 x 770 x 1.400 mm |
| Vægt | 650 kg |
| Certificering | CE |
| Positioneringsnøjagtighed | XY: ±30 µm @ 3σ; Z: ±10 µm @ 3σ |
| X, Y, Z-akse repeterbarhed | XY: ±15 µm @ 3σ Z: ±5 µm @ 3σ |
| Maksimal hastighed | 1.000 mm/s (X, Y) |
| Acceleration | 1,0 g |
| Kameraopløsning | 640 x 480 px (0,3 MP) |
| Drivsystem | AC servo |
| Transportør type | Bælte |
| Transportbåndets belastningskapacitet | 3 kg |
| Minimum produktbredde | 50 mm |
| Maksimal produktbredde | 475 mm |
| Minimum produktlængde | 50 mm |
| Maksimal produktlængde | 350 mm |
| Software operativsystem | Windows 7 |
| Produkttykkelsesområde | 0,5-6 mm |
| Kommunikationsprotokol | SMEMA |
| Plasmabehandlingsområde (D x B) | 475 x 350 mm |
|
|
|
| Grundlæggende specifikationer | Plasma systemkrav |
| RF strøm | 600W at 27.12 MHz |
| Primær plasmagas | Argon |
| Procesgas | O2, N2 eller H2 (andre underlagt test) |
| Gasforsyningstrykområde | 30–100 psig (0,2–0,7 MPa) |
Adresse
5. sal, bygning 2, nr. 182, Chang'an Xi'an Road, Chang'an Town, Dongguan, Guangdong-provinsen, Kina.
Tlf
